1、儀器校驗準備

按照儀器開機穩定或規定的其它要求，確保各項自檢正常，用儀器自帶或特定應用的校正物質校正儀器，環境條件滿足的要求。

2、檢測器噪聲

放置純銅標準物質，測量質量數為132或220的離子計數，測量3次，取其平均值。

3、分辨率

放置純銅標準物質，掃描質量數為Cu63的譜圖，分別讀取在中分辨模式和高分辨模式下的分辨率。

4、靈敏度

放置純銅標準物質，測量質量數為Cu63的離子計數，分別讀取在中分辨模式和高分辨模式下的信號強度。

5、檢出限

放置純銅標準物質，所測量元素質量分數不大于10ng／g，在中、高分辨模式下，同一濺射點重復測量11次，用式(1)計算待測元素測量值的標準偏差s，3倍的標準偏差即為檢出限cL，按照式(2)計算。

式中：

s——11次測量值的標準偏差，%；

xi——第i次測量示值，%；

x——11次測量的平均值，%；

n——測量次數；

cL——檢出限，%。

6、示值誤差

放置純銅標準物質，測量元素質量分數1～100μg／g，在中、高分辨模式下，同一濺射點分別重復測量3次，取平均值x，由式(3)計算示值誤差Δx。每次測量時不需要換點，但需重新濺射。

Δx=(xx-s)／xs×100%      (3)

式中：Δx——相對示值誤差，%；xs——元素標準值，%；x——3次測量的平均值，%。

7、重復性

放置純銅標準物質，測量元素質量分數為1～100μg／g，在中、高分辨模式下，重復測量6次，由式(4)計算相對標準偏差sr，即為重復性。每次測量都改變樣品位置（即多次重新放置樣品），更換陽極帽、導流管等配件。

sr=s／x×100%      (4)

式中：

sr——相對標準偏差，%；

s——6次測量值的標準偏差，按式(1)計算，%；

x——6次測量的平均值，%。

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